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技術文章
真空計種類那么多，如何選擇才？
1皮拉尼真空計原理
·加熱電阻絲，使之升溫至需要的工作溫度
·由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開時帶走了能量，電阻絲的溫度會發生變化
·熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關系
2衍生出兩種類型的皮拉尼規
1）穩定溫度，測量施加的電壓變化等效測量真空度（INFICON PSG500）
2）穩定電壓，測量溫度變化等效測量真空度（熱偶規）
3氣體的熱傳導，與下列提條件有關
1）氣體類型
2）壓力大小
4皮拉尼真空計測量范圍與精度
測量范圍（空氣,氧氣,一氧化碳,氮氣）：5 x 10-4至 1000 mbar
精度(氮氣)：
1x 10-3… 100毫巴 ±15%
5 x 10-4… 1 x 10-3毫巴 ±50%
100 ... 1000毫巴 ±50%
5皮拉尼真空計的優特點
燈絲部分在不影響精度與速度的情況下，加以zui大的保護，
大大延長了燈絲的使用壽命。
6皮拉尼真空計具體型號
·PSG050/051
·PSG100-S PSG101-S
·PSG500/500-S PSG502
·皮拉尼電容膜片復合真空計PCG400 PCG410 PCG550
1）有皮拉尼規與特制的陶瓷薄膜規合成在一起
2）兩種原理的規管全過程都工作
3）100 mbar—1000 mbar 使用薄膜規信號
4）1 mbar– 100mbar 兩規信號同時采用
5）5x10-4mbar –1 mbar 采用皮拉尼信號
6）輸出的真空度信號（電壓）連續，無跳躍
7皮拉尼真空計應用行業
·各種高真空泵的前級壓力測量，如光伏、鍍膜、等離子行業
·各種中低真空測量，如照明，冶金
·真空連鎖控制，高真空計的點火開關控制，如PEG100
·PSG050可*替代TR211，PSG051可*替代TR216
·PCG400 PCG410(現在已升級為PCG550，PCG400/PCG410已經停產）與PSG500 基本相同，但彌補了皮拉尼規大氣測量段精度不足的弱點，而且不受氣體類型的影響，在真空爐，單晶爐，多晶爐，藍寶石爐上廣泛應用
·PSG100 PSG101，與PSG500/PSG050基本相同，但以為具有通訊協議功能，在大系統中應用廣泛
二、電容薄膜規
CDG025D/CDG045/100/160/200
1電容薄膜規工作原理
·壓力使膜片變形，變形量與壓力大小成比例關系
·通過測量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測量真空度
2電容薄膜規特點
·以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎構成
·在嚴酷和腐蝕性環境中,穩定與可靠的高精度壓強測量
·快速的預熱和恢復時間,提高生產率
·的長期穩定性,再現性和重復性
·由于電子學直接安裝在傳感器上,改進了溫度補償和EMC兼容性
·對環境條件變化的敏感度的降低使得測量更穩定
·快速預熱在開機的一分鐘內達到快速穩定和進入準備使用狀態
·一鍵按鈕: 調零功能和設點調整
·抗腐蝕超純陶瓷傳感器
·能經受數百萬次壓強循環周期,包括大氣壓沖擊,無任何降低性能的跡象
·暴露大氣壓后快速恢復,無需隔離閥
·對蒸氣介質不敏感
·傳感器屏蔽 ()延長真空計在污染的工藝過程中的使用壽命
3INFICON陶瓷技術
·陶瓷技術的*性
1）無 “記憶” 效應 2）陶瓷無疲勞問題 3）的溫度補償 4）的零點穩定性
·低使用成本
1）非凡的使用壽命 2）無需隔離閥
4Sky CDG025D測量范圍
5加熱型薄膜規
6加熱型優點
·零飄極小0.1%FS/年（干凈真空環境）
·更高的精度
·環境溫度變換/環境壓力變化/環境氣流變化對精度無影響
·比工藝更快的預熱啟動時間’
·快速恢復時間 大氣壓 < 1 min within 5mV
·任意安裝角度
·抗污染，可有效抵抗工藝氣體或工藝產生氣體的腐蝕影響
7電容薄膜規的應用
要求高的應用條件下，而快速的壓強測量
·用于刻蝕，CVD、PVD、ALD半導體設備制造，如太陽能光伏行業的PECVD用的很多，刻蝕上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比較多，抗污染性能比較好。一般國內用的PECVD還有多晶爐上用的MKS的電容薄膜規622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比較多，如德國Ruth&Rau公司的PECVD設備標配產品為MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,質量流量計用的是1179BX23CR14VSPC1 800sccm/SiH4和1179BX5CR14NSPC1 2000sccm/NH3，國內用的好多PECVD設備上用的是INFICON的CDG025D。
·資料貯存和顯示器制造設備
·工業真空設備
·常用高精度真空測量
三、熱電離規
1熱電離規原理
Richardson 效應: 高溫燈絲發射電子，高能量電子撞擊氣體分子，氣體分子的一個或多個電子被撞擊出去，形成帶正電的離子。
1）帶電離子被離子收集極捕捉收集放大輸出
2）離子流的大小與氣體壓力成比例關系
2兩種類型熱電離規
3熱電離型復合規
·HPG400
·BPG400/-SP/-SD/SR
·BPG402
·BCG450 B-A規，皮拉尼規，薄膜規三種型號復合在一起
4優點及應用
·BPG
■測量范圍寬，一個規管覆蓋13個量程5x10-10–1000 mbar
■精度高，*的重復性5%
■燈絲材料鍍釔的銥絲有*的抗氧化能力，皮拉尼自鎖保護，使燈絲并不會因突然暴露大氣而燒毀。
■方便的校準調節
■注意事項：
◆對氣體有選擇性
◆抗污染能力弱
■普遍應用于從低到超高真空的測量
■在工業，半導體，研究行業應用廣泛
BPG402
■雙燈絲，大大延長使用壽命
■電離規的工作可以自定義控制
■探頭備件自帶校準參數，保證精度與重復性
HPG400
■電離規與皮拉尼的復合
■皮拉尼自鎖保護電離規
■電離規的工作啟動點可以一定范圍內自定義
■簡易的校準功能
■相對便宜的價格
BCG450
■可調的電離規工作起點
■的重復性
■的大氣端測量
四、冷電離規（潘寧規）
1冷電離規原理
通過氣體放電方式產生電子，通過磁場使電子獲得能量將氣體分子電離。
2潘寧規特點與應用
·測量范圍：5 x 10-9 to 1 x 10-2 mbar
·全金屬密封
·無燈絲
·易清洗
·應用于普通的高真空測量
3冷規復合規MPG400特點與應用
·冷規與皮拉尼規的復合
·測量范圍廣： 5x10-9-1000 mbar
·易于保養清洗
·無高真空燈絲，
·應用于普通高真空測量
4冷規及復合規性能比較
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