MKS AS11880G-12產品介紹

•  品牌：MKS（半導體真空、工藝控制領域）

• 系列：AIO VIVO 模擬量 IO 模塊

• 料號：AS11880G-12，版本 REV 01

• 類型：8 通道電壓型模擬量輸入模塊

• 安裝方式：DIN 導軌卡扣式安裝，帶網口、歐式插拔端子

核心技術參數

1. 通道配置：8 路單端模擬電壓輸入

2. 輸入信號范圍：0~10VDC 標準工業電壓信號

3. 通訊接口：以太網網口，用于接入 MKS VIVO 控制系統，采集 MFC 質量流量控制器、真空計、壓力傳感器等設備模擬信號

4. 供電：直流工業標準供電，適配半導體設備控制柜

5. 應用場景：半導體刻蝕、薄膜沉積、光伏鍍膜、真空制程設備，采集氣體流量、腔體壓力、溫度等模擬數據

主要用途