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目前我們公司有ADL產(chǎn)品,歡迎大家的咨詢!
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您們好!目前我們公司有ADL產(chǎn)品,價(jià)格從優(yōu),歡迎大家的垂詢!
接下來我為大家介紹期中一款產(chǎn)品,ADL 雙極 - 濺射 GXB還有HXB的產(chǎn)品!
德國(guó) ADL Analoge & Digitale Leistungselektronik GmbH,真空鍍膜專用直流 / 脈沖電源品牌,行業(yè)主流中頻 / 雙極濺射電源供應(yīng)商。
2. 雙極 - 濺射 Bipolar Sputtering
雙極性脈沖磁控濺射,正負(fù)交替電壓,用于絕緣靶(氧化鋁、氧化鋯、氮化硅等),正向脈沖中和靶表面積累正電荷,抑制靶面打火、消除靶中毒。
3. 雙極脈沖產(chǎn)生器 SB
SB = Separate Bipolar,外置獨(dú)立雙極脈沖模塊(SB150/SB300),不能單獨(dú)使用,必須搭配 GX/HX 直流電源主機(jī)組合輸出雙極中頻脈沖(22.5kHz)。
組合形式:GX + SB / HX + SB
工作邏輯:GX/HX 提供直流功率母線,SB 模塊做 H 橋正負(fù)脈沖切換,輸出對(duì)稱 / 非對(duì)稱雙極方波。
GXB整機(jī)
GXB后側(cè)接口
4. GX / HX 直流電源主機(jī)(搭配 SB 外置脈沖器)
表格
型號(hào)功率區(qū)間定位結(jié)構(gòu)
GX 系列5kW ~ 15kW(GX50~GX150)中小功率濺射,?19" 3U 機(jī)箱,緊湊型,適合中小鍍膜機(jī)、光學(xué) / 裝飾膜水冷、浮動(dòng)輸出、極速滅弧
HX 系列15kW ~ 30kW(HX150~HX300)大功率工業(yè)濺射,?19" 5U 機(jī)箱,可多臺(tái)并聯(lián)至 240kW,硬質(zhì)涂層、玻璃大靶材量產(chǎn)線分體水冷、耐惡劣產(chǎn)線環(huán)境
二、GXB / HXB 一體化內(nèi)置雙極脈沖電源(整機(jī)一體,無需外置 SB)
命名規(guī)則
GXB = GX + Bipolar:GX 直流電源內(nèi)部集成雙極脈沖電路,一體化整機(jī),無需外接 SB 模塊
HXB = HX + Bipolar:HX 大功率直流電源內(nèi)置雙極脈沖,大功率一體化雙極濺射電源
核心區(qū)別:分體式(GX/HX+SB) vs 一體式(GXB/HXB)
分體方案:GX + SB / HX + SB
兩臺(tái)設(shè)備:直流主機(jī) GX/HX + 獨(dú)立 SB 脈沖發(fā)生器
優(yōu)勢(shì):靈活搭配,可單獨(dú)用 GX/HX 做直流濺射,需要雙極時(shí)再接 SB;便于后期擴(kuò)容改造舊設(shè)備
劣勢(shì):占用兩層機(jī)柜,接線復(fù)雜,成本更高
一體方案:GXB / HXB
單臺(tái)整機(jī),直流源 + 雙極脈沖模塊集成在同一機(jī)箱
代表型號(hào):GXB50(5kW 一體化雙極)
優(yōu)勢(shì):布線簡(jiǎn)潔、占地面積小、調(diào)試簡(jiǎn)單,新設(shè)備標(biāo)配絕緣靶工藝
劣勢(shì):只能做雙極脈沖,無法單獨(dú)切純直流模式
三、工藝用途總結(jié)
GX+SB / GXB:中小功率絕緣靶濺射(光學(xué)膜、裝飾氧化膜、薄介質(zhì)層)
HX+SB / HXB:大功率工業(yè)量產(chǎn),大面積玻璃、刀具硬質(zhì)絕緣涂層、ITO / 氧化物連續(xù)鍍膜
SB 外置方案適合一機(jī)多用(直流金屬靶 + 雙極絕緣靶切換);GXB/HXB 適合固定絕緣靶生產(chǎn)線
四、關(guān)鍵共性參數(shù)
標(biāo)準(zhǔn)脈沖頻率:22.5kHz
自帶電流比例閉環(huán)控制,自動(dòng)調(diào)節(jié)正負(fù)脈沖功率配比
內(nèi)置自動(dòng)電弧抑制,實(shí)時(shí)滅弧,保護(hù)靶材與電源
全水冷散熱,適配 24h 連續(xù)工業(yè)生產(chǎn)


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