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一、基礎定義
PSG5xx 系列(標準皮拉尼規,粗 / 低真空)
PCG55x 系列(對流增強皮拉尼)
MPG500 復合規(皮拉尼 + 反磁控,大氣壓~超高真空)
輸入:100~240V AC 50/60Hz,功耗≤30VA
單通道,僅接 1 支真空規
4 位數字 LCD 顯示屏
單位可切換:mbar / Pa / Torr
模擬量 0~10.3V:可直連 PLC、記錄儀做壓力采集
1 路繼電器設定點
浮動轉換觸點,50VAC / 5A
設定范圍:1×10?3 ~ 500 mbar
回差≥測量值 10%,用于泵啟停、聯鎖保護
規管接口:9 針 D-Sub 公頭
整機支持面板嵌入式、臺式、19 英寸機架安裝
自動識別接入的真空規型號,斷線 / 燈絲故障報警
單路壓力數值實時顯示,一鍵切換單位
可自定義壓力閾值,繼電器輸出做設備聯鎖
0-10V 模擬信號上傳工控系統,適配濺射鍍膜產線自動化
CE、UL 認證,工業 24 小時連續運行
磁控濺射機前級機械泵真空監測(GX/HX/GXB 電源配套粗真空監控)
真空鍍膜、光學膜、裝飾膜生產線腔體預抽壓力監控
半導體設備、真空熱處理、燈管真空產線
冷媒抽注、真空檢漏工位壓力顯示
398-802:標準市電版 PGD500(100-240VAC,國內通用款)
無其他細分型號,整機標配電源線 + 操作手冊。
PGD400:無繼電器設定點,僅顯示 + 模擬輸出
PGD500(398-802):帶 1 路繼電器聯鎖,產線自動化shou xuan,鍍膜機標配型號。


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