愛發(fā)科（ULVAC）模塊化檢漏儀，適用于氦檢設(shè)備的快速設(shè)計(jì)和生產(chǎn)

一、產(chǎn)品基礎(chǔ)信息

• 品牌：ULVAC 日本愛發(fā)科（真空設(shè)備頭部廠商）

• 設(shè)備名稱：HELIOT MONO 緊湊型集成式氦檢漏儀（Helium Leak Detector）

• 定位：專為自動(dòng)化產(chǎn)線、真空設(shè)備配套嵌入設(shè)計(jì)的模塊式檢漏設(shè)備，非手持獨(dú)立臺(tái)式機(jī)型

二、外觀接口解讀（圖中背面）

1. 兩個(gè)真空法蘭口

• PUMP LINE：前級(jí)泵連接口

• TEST PORT：被測(cè)工件檢漏接口

2. 電氣通訊接口區(qū)

• 電源輸入端子：整機(jī)供電

• 串口 / 網(wǎng)口：RS232、以太網(wǎng)通訊，對(duì)接產(chǎn)線 PLC

• 大尺寸 D-SUB 多針接口：數(shù)字 IO 控制、報(bào)警輸出、外部觸發(fā)，適配自動(dòng)化流水線聯(lián)動(dòng)

3. 側(cè)面格柵：分子泵 / 機(jī)械泵散熱風(fēng)道

三、核心特性

1. 小型輕量化

   尺寸 360×229×310 mm，整機(jī)約 13 kg，可直接集成在真空腔體、自動(dòng)化測(cè)試工裝內(nèi)部，節(jié)省產(chǎn)線空間。

2. 高速檢測(cè)

   優(yōu)化抽氣與測(cè)量回路，大幅縮短單件檢漏節(jié)拍，提升生產(chǎn)線吞吐量；100Pa 下抽速 3.0 L/s，允許被測(cè)腔室最高 100Pa 壓力直接接入檢測(cè)。

3. 高靈敏度

   最小可檢漏率＜5×10?13 Pa?m3/s，覆蓋精密零部件微漏檢測(cè)需求；支持氦氣（?He）標(biāo)準(zhǔn)示蹤檢測(cè)。

4. 易維護(hù)設(shè)計(jì)

   外殼免工具拆卸，內(nèi)部離子源、過濾組件更換簡(jiǎn)單，產(chǎn)線停機(jī)維護(hù)時(shí)間短。

5. 全自動(dòng)化適配

   完備數(shù)字 IO、總線通訊，支持外部觸發(fā)、自動(dòng)清零、漏率信號(hào)上傳、故障報(bào)警聯(lián)動(dòng)，適配半導(dǎo)體、真空鍍膜、汽車零部件氣密自動(dòng)化產(chǎn)線。

四、典型應(yīng)用場(chǎng)景

• 半導(dǎo)體真空腔體、晶圓載具檢漏

• 鋰電池 / 燃料電池封裝氣密性檢測(cè)

• 真空鍍膜、光學(xué)真空設(shè)備腔體測(cè)漏

• 空調(diào)壓縮機(jī)、閥門、傳感器等精密零部件自動(dòng)化氣密檢測(cè)

• 醫(yī)療真空器械、航天小型部件檢漏

五、使用優(yōu)勢(shì)