BROOKS SLA5800 系列 熱式氣體質量流量控制器（MFC）

一、基礎概述

1. 流量控制型：SLA5850 / 5851 / 5853

2. 壓力控制型：SLA5810 / 5820 / 5840

3. 純測量流量計：SLA5860 / 5861 / 5863

二、核心性能參數

1. 流量量程（N?當量）

• SLA5850：0.003 ~ 50 slpm（最小 3 sccm），調節比 100:1

• SLA5851：50 ~ 1200 slpm，調節比 50:1

• SLA5853：1200 ~ 2500 slpm，調節比 50:1

2. 精度與穩定性

• 精度：20%~100% 滿量程 ±0.9% 設定值；＜20% 量程 ±0.18% 滿量程

• 重復性：±0.2% 設定值

• 零點漂移：年漂移＜0.2% FS（行業頂尖長期穩定性）

• 響應時間：0→100% 階躍調節穩定時間＜1s

3. 壓力與溫度

• 標準耐壓：1500 psi（100 bar），高壓可選 4500 psi（310 bar）

• 工作溫度：-14℃ ~ 65℃

• 最小壓差：5 psi（0.35 bar）即可穩定控流

三、核心功能亮點

1. 多氣體預存曲線

   內置最多 10 組氣體校準參數，單臺設備可切換多種工藝氣體（Ar、N?、O?、SF?、NH?等），大幅減少備品型號。

2. 豐富通訊接口

• 模擬信號：0-5V / 4-20mA

• 數字總線：RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT，適配半導體 PLC、真空自動化產線

3. 獨立診斷維護端口

   外置專用調試接口，無需停機拆裝即可讀取故障、校準零點，降低產線停機時長。

4. 低泄漏切斷閥

   閥門泄漏率極低：≤150 slpm 型號泄漏＜0.005 sccm，可省去后端截止閥，簡化氣路設計。

5. 防爆合規認證

   具備 ATEX、IECEx、UL Class I Div2 防爆認證，可用于可燃 / 腐蝕性工藝氣體場景；生物版本提供 USP Class VI 食品醫藥級密封件。

6. 模塊化易維護

   傳感器、閥體獨立模塊，現場可快速更換，金屬外殼抗工裝磕碰損傷。

四、典型應用場景

1. 半導體真空工藝

   刻蝕、薄膜沉積、離子注入設備，搭配 ULVAC 氦檢儀、真空計組成整套真空氣路控制系統

2. 新能源行業

   鋰電池燒結、燃料電池催化反應、高壓 CO?合成實驗

3. 實驗室 / 化工催化

   催化劑篩選、微反應裝置、氣相配比實驗

4. 生物制藥

   生物發酵罐供氣、無菌工藝氣體配比（Biotech 定制款）

5. 真空鍍膜、光學器件制造

五、同行業定位對比

• 優勢：耐壓等級高、零點長期漂移極小、總線協議齊全，適配 24h 連續量產自動化產線；

• 區分：相比金屬密封高溫 MFC（SLAMf 系列），SLA5800 為彈性密封，成本更低、維護簡便，適合常溫常規工藝氣體；高溫、強腐蝕工況選用 SLAMf。

六、配套搭配（結合你之前的 ULVAC 檢漏儀）